PowerScript Code Snippets

Set the KPFM Parameters (w/ phase tuning)

How to set the KPFM Parameters (w/ phase tuning)

// Set sample bias //spm.bias.sample.value = 2; // Disabled the …
Set the Lift mode

This code can be used when operating in Lift mode.

var p = spm.scan.liftMode; // Get Lift mode configuration p.use …
Set the I/V parameters code

This is the code used to set the parameters configured during the I/V curve measurement.

var params = { bias:{ //bias settings "isReversed": true, //true= …
Set F/d Curve parameters

This is the code used to set the parameters configured during the F/d curve measurement.

var params = { "highestPos": 1, "lowestPos": -0.2, "useAutoOffset": true, …
Set Current Amp.

This code can be used when a current amplifier setting is required while using the …

//DC or AC var params = { "id": "park.nx.linear.dc", // …
LineSync-Based Async Scan Parameter Sweep

This script changes specific parameters (e.g., tip bias, setpoint) in synchronization with the line sync …

var EdgeDetector = { prev: null, threshold: 0.3, detect: function(current) …
C-AFM current offset for NX Internal

Internal C-AFM for NX에서 최초 Current offset을 손으로 맞추기 번거로울 때 사용하면 편한 script입니다.

//Current offset for NX Internal Current Amp var Current_Gain = …
OXY Stage Accuracy Test 시 사용 코드

OXY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (Ox 방향 구동 평가용)

step=-120; backlash_step=100 iter=20 repeat=4 default_vel=1000 if (step>0) { de_backlash=backlash_step; } …
OXY Stage Accuracy Test 시 사용 코드

OXY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (Oy 방향 구동 평가용)

step=-120; backlash_step=120 iter=20 repeat=4 default_vel=1000 if (step>0) { de_backlash=backlash_step; } …
FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드

FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (Y방향 평가용)

step=120; backlash_step=100 iter=20 repeat=3 if (step>0) { de_backlash=backlash_step; } else …
Focus Stage Straightness test

FX 장비 생산 시 Focus stage의 Straightness를 확인하는 데 사용되는 script입니다.

baseDir = 'C:/Users/admin/Desktop/OXY Test/2/' classification = 'F_' initialFocusPos = 41000 …
FX40 XY Stage repeat test 시 사용 코드

FX40 XY Stage를 20회 반복 구동하며 구조물의 이상 여부를 파악하는 코드입니다.

var maxCount = 20; var distance_oneMeter = 1000 * 1000; …
FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드

FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (X방향 평가용)

step=120; backlash_step=100 iter=20 repeat=3 if (step>0) { de_backlash=backlash_step; } else …
Z Stage Straightness test

FX 장비 생산 시 Z stage의 Straightness를 확인하는 데 사용되는 script입니다.

baseDir = 'C:/Users/admin/Desktop/OXY Test/1/' classification = 'Z_' initialFocusPos = 41000 …
SHR-100 (Cabliration용 sample) 표면 검수용 code

2D Pattern sample 표면 검수 및 이미지 촬영 시 활용됩니다.

//File path can be changed. visionLoc="D:/SpmData/vision capture/" //capture 7th line …