C-AFM current offset for NX Internal

Internal C-AFM for NX에서 최초 Current offset을 손으로 맞추기 번거로울 때 사용하면 편한 script입니다.

Installing SmartRemote

Installing pspylib

OXY Stage Accuracy Test 시 사용 코드

OXY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (Ox 방향 구동 평가용)

OXY Stage Accuracy Test 시 사용 코드

OXY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (Oy 방향 구동 평가용)

FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드

FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (Y방향 평가용)

Focus Stage Straightness test

FX 장비 생산 시 Focus stage의 Straightness를 확인하는 데 사용되는 script입니다.

FX40 XY Stage repeat test 시 사용 코드

FX40 XY Stage를 20회 반복 구동하며 구조물의 이상 여부를 파악하는 코드입니다.

FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드

FX XY Stage Accuracy 평가 시 사용되는 코드입니다. (X방향 평가용)

Z Stage Straightness test

FX 장비 생산 시 Z stage의 Straightness를 확인하는 데 사용되는 script입니다.

image scan (NCM)

Code implemented to operate according to the sequence for acquiring NCM images. Default parameters are …

SHR-100 (Cabliration용 sample) 표면 검수용 code

2D Pattern sample 표면 검수 및 이미지 촬영 시 활용됩니다.

SHR-100 (Calibration용 Sample) 표면 검수용 code

SHR-100의 Y Pattern 검수용 code입니다.

SHR-100 (calibration용 sample) X pattern 표면 검수용 code

SHR-100 표면 검수 시 사용하는 code입니다. 그 중 X pattern 이미지 측정 코드입니다.

NX10 XY stage test

장비 생산 시 NX10 XY Stage의 구동 이상 여부를 확인할 때 사용되는 코드입니다.